與其它幾乎所有的氣體不同，氧氣有順磁性。OXYMAT 61 型氧分 析儀正是利用了這一原理來測量 O2 濃度。 在不均勻磁場中，氧分子由于順磁性，朝強磁場方向移動。當不 同氧氣濃度的二種氣體在同一磁場相遇時，他們之間就會產生一 個壓力差。 OXYMAT 61 中，這兩種氣體一種是參比氣 （N2， O2 或者空氣） （1），另一種是樣氣 （5）。參比氣經過兩個參比氣通道 （3）進 入樣氣室 （6）。其中一路參比氣在磁場區域 （7）和樣氣相遇。 因這兩個通道是連通的，所以與氧濃度成正比的壓力差使得兩路 參比氣在圖 2 中位置 4 處形成氣流。微流量傳感器 （4）感知該 氣流并將其轉變為電信號。 微流量傳感器中有兩個被加熱到大約 120°C 的鎳格柵，這兩個鎳 格柵和兩個輔助電阻形成惠斯通電橋。變化的氣流導致鎳格柵的 電阻發生變化。這使電橋產生偏移。該偏移數值大小決定于樣氣 中的氧濃度。 微流量傳感器位于參比氣路中，不直接接觸樣氣，所以樣氣的導 熱、比熱和樣氣的內部摩擦對測量結果都不產生任何影響，同時， 這也避免了樣氣對微流量傳感器的腐蝕，使得微流量傳感器的抗 腐性能大大提高。 通過變化磁場強度（8），使得微流量傳感器上的背景氣流不被檢 測。儀器擺放的方向因而對測量也無影響。 OXYMAT 61 型氧分析儀的響應時間非常短。因為樣氣室 （6）直 接與樣氣氣路（5）相連，并且體積小，使微流量傳感器響應迅速。 注意 樣氣中不能含有塵埃，樣氣室里不能有冷凝物，這就是為何需要 做樣氣預處理工作。
特性
• 集成有參比氣體循環泵 （外界空氣） • 線性度高 • 一體式設計 • 物理消零 • SIL2 認證 （安全完整性等級）
應用
應用領域 • 環境保護 • 控制鍋爐中的燃燒系統 • 質量監測 （例如氣體純度） • 過程排放監測 • 過程優化 更多應用 • 化工廠 • 氣體制造 • 研發
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