通斷式真空控制器遇到過沖如何解決？

在工業真空應用領域，通斷式（On-Off）真空控制器以其出色的成本效益和操作簡便性，成為真空干燥、浸漬、脫泡等工藝的常見選擇。然而，其固有的工作模式也帶來了一個經典的技術挑戰：會出現壓力過沖。

一、癥結所在

為何通斷控制難以穩定？

通斷式控制的邏輯簡潔而明確，其工作原理如下：

1.監測：壓力傳感器實時讀取腔體真空度。

2.比較：控制器將讀取值與用戶設定值進行比較。

3.執行：當壓力>設定值 時，控制器接通電路，開始抽真空。當壓力≤設定值 時，控制器斷開電路，停止抽真空。

問題的核心矛盾在于：真空泵強大的“全速抽氣”能力與系統微小的“固有漏氣/放氣”速率之間，缺乏一個可調的“緩沖器”。

抽氣階段：泵以Z大抽速工作，其抽氣能力遠大于系統緩慢的漏氣率，導致其輕易沖過設定點。

停止階段：真空抽氣管路切斷，但腔體材料放氣、微小泄漏等氣源仍在持續向系統內導入氣體，導致壓力緩慢回升。

二、破解之道

1、物理阻尼——加裝真空緩沖罐

這是一個可針對性解決壓力過沖的的物理解決方案。

原理：在真空腔體與泵之間的管路上，串聯一個體積遠大于腔體的真空罐（緩沖罐）。

作用：大幅增加系統的總容積（氣容）。根據理想氣體定律，容積越大，相同的 gas load（氣體負載）引起的壓力變化越緩慢。這為通斷控制器提供了更長的反應時間，極大地平滑了壓力波動，有效降低過沖。

適用場景：特別適用于小腔體配大泵的工況，是優化壓力穩定性的實用方案。

2、機械限流——安裝手動節流閥

這是一個成本低且實用性強的簡易改造方案。

原理：在泵的進氣口前端，安裝一個手動針閥或精密球閥。

作用：通過手動調節閥門開度，機械性地限制抽氣通道的流導，從而人為地降低泵的有效抽速。

操作：

1.抽氣時，先將閥門調至全開狀態。

2.當壓力接近目標設定值時，緩慢關小閥門。

3.觀察壓力變化，將其調節穩定在目標值附近。

4.此時，通斷控制器會在被限制后的、更平緩的壓力曲線上進行小范圍的啟?？刂疲^沖現象得到極大改善。

優點：簡單、便宜、立即生效。

缺點：需要根據不同的目標壓力點手動預調節，無法實現全自動智能控制。

適用場景：對真空度穩定性有苛刻要求的應用，如半導體工藝、光學鍍膜、高級別科研實驗等。