干式螺桿真空泵的工作原理
干式真空泵技術 — 尤其是可變螺距化學干式泵 — 在多種關鍵應用中具有明顯、可衡量的優勢。正確設計的干式螺桿真空泵可通過安全、可靠且經濟高效的解決方案確保滿足加工需求。
干式螺桿真空泵不需要水或油即可在真空級進行密封或潤滑。因此，這些干式真空系統避免了廢水的產生、污染和高昂的處理成本。
干式螺桿真空泵的運行
•干式螺桿真空泵由兩個平行的、非接觸式螺旋形螺旋轉子 (1)和 (2)組成(圖 1)，并通過精密齒輪 (3) 高速同步旋轉。它們沿相反的方向旋轉，從而在進氣口 (5) 處捕集一定量的氣體，并將其向排氣口 (6) 輸送并進入排氣通道 (7)。缸體 (9) 壁和相互嚙合的螺釘的特殊形狀形成了用于輸送氣體的壓縮室或腔室 (4)。
•螺桿和缸體之間的小間隙，以及相互嚙合的螺釘之間的小間隙確保了與由螺釘腔產生的氣體向前流動相比，向進氣口的反向泄漏量較小。
•密封邊界的長度(即，螺旋數和緊密間隙)可防止泵送氣體逆流。在裝有壓板的泵上，當出口閥或端口首次露出時，氣體會略微反向膨脹進入到螺桿中。在螺桿的作用下，捕獲的氣體量逐漸減小到零，因此可以迅速將其排出。
•氣體的反向流動主要由螺桿輪廓末端的“密封區”的寬度控制。這些寬闊的區域與定子緊密相鄰，從而將氣體的反向泄漏降至最低。螺桿泵的極限壓力可以小于 0.01 torr (0.01 mBar)。
•在可變螺距模型中，隨著螺距的變化，氣體會被壓縮，從而在泵排氣之前提供額外的壓縮。這使熱負荷在轉子的整個長度上更均勻地分布。在單螺距模型中，在最后半圈中抵靠著壓縮板或閥實現更大的壓縮，從而將熱量的產生偏向排氣口。在干式泵中，溫度必須足夠高以避免整體冷凝，同時又必須足夠低以避免自燃和聚合?？勺兟菥啾弥谐蚺艢饪诘闹饾u升高的氣體溫度在很大程度上有助于防止泵送的蒸汽凝結?？勺兟菥嗦輻U泵也比單螺距螺桿泵更有效地利用動力。
•通過周圍的護套 (8) 進行冷卻?？梢詫⒈门渲脼橹苯踊蜷g接的閉環冷卻。后者有很多優點，因為這意味著裝置的冷卻水永遠不會與泵的材料直接接觸，并且護套不會因冷卻水質量差而淤積或腐蝕。
•有氣鎮端口 (10)。如果需要，氣鎮可以幫助快速加熱冷泵或干燥濕泵，將易燃蒸氣排除在其易燃范圍之外，并有助于從泵中清除固體，特別是在沖洗溶劑期間。
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