1、吸附：
有機廢氣經過濾器除去固體顆粒物質，由上而下進入吸附罐，有機物被活性炭捕集、吸附并濃縮，凈化的空氣從罐體下部經主風機排入大氣。
2、解吸
當活性炭吸附有機物達到飽和狀態后，停止吸入有機廢氣。通過活性炭床向上送入蒸汽進行吹脫，將有機物自活性炭中逐出，即解吸。罐中活性炭恢復其活性，即再生。
3、熱風干燥及冷卻：
用蒸汽解吸后的活性炭層中，約留有80～90%的蒸汽凝液，填充了活性炭內孔，從而降低了炭層的活性。因此，通入熱空氣對炭層進行干燥。然后關閉蒸汽閥門，再通入常溫空氣，冷卻至25℃左右，活性炭恢復如初，以備再循環使用。
4、有機溶劑回收：
利用有機溶劑露點溫度較高的特點，將蒸汽和有機溶劑的混合物引入冷凝器，使其冷凝，冷凝液經疏水閥進入分離器，利用溶劑比水輕的特點，分離回收。
5、凝水凈化：
為保證冷凝水的潔凈，避免有機溶劑的凝水排入水體，在分離器內分離后的水中通入壓縮空氣，使水中有機溶液劑充分解脫。被壓縮空氣逐出的含有機物空氣折返廢氣系統，重新吸附。凈化后的冷凝水，排入下水道。
6、連續吸附措施：
在連續生產的工廠中，吸附系統也需相應連續工作，可在廢氣凈化系統設計中，選用雙罐系列，以便吸附、再生交替連續使用。
7、再生周期：
再生周期應根據凈化后排氣中有害氣體濃度而定。當有害氣體濃度接近超標數值時，即應停止吸附，進行再生。幫系統初始工作階段需及時測定排出口有害氣體濃度，以便掌握合理吸附再生周期。
吸附凈化原理及工藝流程
活性炭吸附的實質是利用活性炭吸附的特性把低濃度大風量廢氣中的有機溶劑吸附到活性炭中并濃縮，經活性炭吸附凈化后的氣體直接排空，其實質是一個吸附濃縮的過程。
催化燃燒脫附的實質是利用催化燃燒的熱空氣加熱活性炭中被吸附的有機溶劑，使之達到溶劑的沸點，使有機溶劑從活性炭中脫附出來，并且把這高濃度的廢氣引入到催化燃燒反應器中。在～250℃的催化起燃溫度下，通過催化劑的作用進行氧化反應轉化為無害的水和二氣化碳排入大氣。是一個化學反應過程。并非明火的燃燒，且能解決脫附時的二次污染。
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