名詞解釋

潔凈氮氣真空烘箱（又名:充氮真空烘箱）;其能提供潔凈的真空環境，HOCHECK充氮真空烘箱能在450度以上提供真空無氧環境;被廣泛的應用于半導體、醫藥、科研等行業，可同時實現真空、潔凈、無氧和高溫的烘箱。

主要應用

一般用于材料及產品的應力釋放，特別是晶圓或者微電子材料的應力釋放。在高溫環境中，半導體及金屬材料極易氧化，所以需要抽真空與充氮氣聯動加以保護。同樣的這些材料也更容易受到灰塵污染，100級甚至更高的潔凈度可保護這些材料不被污染。

基本要求

潔凈度100級以上，真空度50KPar，可自動聯動開啟氮氣閥門，溫度:常溫→230℃，整體不銹鋼材料，可編程PLC控制器，多級過溫保護系統。